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AJA離子束刻蝕系統 Ion Milling System

  • 離子束刻蝕系統

    離子束刻蝕系統

    物理刻蝕設備,多種尺寸選擇。集成基片冷卻和SIMS終點監測功能。兼容射頻和直流離子源,最大22cm直徑。滑軌時安裝,方便集成更大直徑離子源。

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